Средства измерений и контроля с оптическим и оптико-механическим преобразованием

Оптико-механические измерительные приборы. Эти приборы находят широкое применение в измерительных лабораториях и в цехах для измерения размеров калибров, плоскопараллельных концевых мер длины, точных изделий, а также для настройки и проверки средств активного и пассивного контроля. Эти приборы основаны на сочетании оптических схем и механических передач. К оптико-механическим измерительным приборам относятся: пружинно-оптические измерительные головки (оптикаторы), оптиметры, ультраоптиметры, длиномеры, измерительные машины, интерферометры и ряд других приборов.

Рис. 2.25. Оптиметр: а — вертикальный; б — горизонтальный

Рис. 2.26. Оптическая схема оптиметра:

7 — окуляр; 2 — зеркало; 3 — трехгранная призма; 4 — стеклянная пластинка; 5— призма полного отражения; 6 — измерительный стержень; 7 — зеркало поворотное; в — объектив

 

Оптиметр состоит из измерительной головки, называемой трубкой оптиметра, и вертикальной или горизонтальной стойки. В зависимости от вида стойки оптиметры подразделяют на вертикальные (например, ОВО-1, или ИКВ) (рис. 2.25, а) и горизонтальные (например, ОГО-1, или ИКГ) (рис. 2.25, б). Выпускают также горизонтальные и вертикальные проекционные оптиметры (ОГЭ-1 или ОВЭ-02). У последних отсчет результата измерения производится по шкале, проецируемой на экран. Вертикальные оптиметры предназначены для измерений наружных размеров деталей, а горизонтальные — для измерения как наружных, так и внутренних размеров.

В оптической схеме оптиметров использованы принципы автоколлимации и оптического рычага. Принцип действия трубки оптиметра показан на рис. 2.26. Лучи от источника света направляются зеркалом 2 в щель трубки и, преломляясь трехгранной призмой 3, проходят через шкалу, имеющую 200 делений, нанесенных на плоскость стеклянной пластинки 4. Пройдя шкалу, луч попадает на призму полного отражения 5 и, отразившись от нее под прямым углом, направляется на объектив 8 и зеркало поворотное 7. Качающееся зеркало пружиной прижимается к измерительному стержню 6. При перемещении стержня 6, опирающегося на измеряемую деталь, зеркало 7 поворачивается на угол а вокруг оси, проходящей через центр опорного шарика, что вызывает отклонение отраженных от зеркала 7 лучей на угол 2а. Отраженный пучок лучей объективом превращается в сходящийся пучок, который дает изображение шкалы. При этом шкала смещается в вертикальном направлении относительно неподвижного указателя на некоторую величину, пропорциональную измеряемому размеру. Изображение шкалы наблюдается в окуляр 1, как правило, одним глазом, что утомляет контролера. Для обеспечения отсчета на окуляр 1 надевают специальную проекционную насадку, на экране которой можно наблюдать изображение шкалы обоими глазами. Основные метрологические характеристики оптиметров см. в табл. 2.9.

Оптический длиномер (рис. 2.27, а) состоит из измерительной головки и вертикальной или горизонтальной стойки. Схема работы длиномера показана на рис. 2.27, б. Конструкция длиномера соответствует принципу Э.Аббе, т. е. основная шкала является продолжением измеряемой детали 3. В пиноли 5 закреплен измерительный наконечник 4, входящий в соприкосновение с измеряемой деталью 3. Сила тяжести пиноли 5 уравновешена противовесом 1, который перемещается внутри масляного демпфера 2. Пиноль 5 соединена с противовесом стальной лентой 9, перекинутой через блоки, причем измерительная сила длиномера определяется разностью масс пиноли 5 и противовеса 1. Эта сила регулируется с помощью грузовых шайб 8. Отсчеты по стеклянной шкале 6, освещаемой источником света S, производят с помощью отсчетного микроскопа 7 со спиральным нониусом.

В настоящее время все большее распространение получают длиномеры с цифровым отсчетом, на табло которых высвечивается непосредственно измеряемый размер.

Основные метрологические характеристики оптических длиномеров см. в табл. 2.9.

Таблица 2.9. Основные метрологические характеристики оптико-механических приборов

Наименование и тип прибора	Цена деления шкалы, мкм	Пределы измерений по шкале, мкм	Пределы допускаемой погрешности на любом участке шкалы в пределах 100 делений, мкм	Наибольшее измерительное усилие (колебание измерительного усилия), Н	Вариация показаний, мкм
Оптикаторы ГОСТ 28798—90:
01П	0,1	24	±0,05	1,5 (0,3...0,5)	0,03
02П	0,2	50	±0,1	1,5 (0,3...0,5)	0,06
05П	0,5	100	±0,2	1,5 (0,3...0,5)	0,15
1П	1,0	250	±0,4	1,5 (0,3...0,5)	0,30
Оптиметры:
ОВ-100	0,2	±25	±(0,07...0,1)	2,0	0,02
ОВ-200	1,0	±100	±(0,2...0,3)	2,0	0,1
ОГ-500	1,0	±100	±(0,2...0,3)	2,0	0,1
Улътраоптиметры ИКП-2	0,2	±25	±0,1	0,5... 1,5	—
		±83	±0,1	0,5... 1,5	—
Оптические длиномеры:
Дво	1,0	0... 100 мм	(1,4+1/100)	2,0	0,4
двэ	1,0	0... 100 мм	(1,4+1/100)	2,0	0,4
дгэ	1,0	0... 100 мм	(1,4+1/100)	2,5	0,1
Интерферометр мод. 264 (вертикальный)	0,05	±2,5	±0,05	1,5 ± 0,10 (0,02)	0,02
	0,1	±5,0	±0,08	1,5 ± 0,10 (0,02)	0,03
	0,2	±10,0	±0,10	1,5 ± 0,10 (0,02)	0,04

 

Рис. 2.27. Оптический длиномер [а) и схема его работы (б):

1 — противовес; 2 — масляный демпфер; 3 — измеряемая деталь; 4 — измерительный наконечник; 5 — пиноль; 6 — стеклянная шкала; 7 — отсчетный микроскоп; 8 — грузовые шайбы; 9 — стальная лента; S — источник света

 

Измерительные машины (одно-, двух- и трехкоординатные) предназначены для контроля сложных корпусных деталей, деталей значительных длин, измерения расстояний между осями отверстий, лежащих в одной или разных плоскостях, контроля параметров плоских профильных шаблонов в прямоугольных и полярных координатах. Двух- и трехкоординатные измерительные машины позволяют получать цифровой отсчет с автоматической выдачей результатов измерений на ЭВМ с последующим применением полученных программ в станках с ЧПУ для обработки аналогичных деталей (обработка по моделям). Более подробно измерительные машины рассмотрены в гл. 3.

Интерферометры относятся к весьма точным оптико-механическим приборам. Они применяются в основном для проверки концевых мер длины, размеров и формы особо точных изделий и основаны на использовании явления интерференции световых волн. Интерферометры для линейных измерений подразделяются на контактные (ИКПВ — вертикальные, ИКПГ — горизонтальные) и бесконтактные. Контактные интерферометры имеют одинаковые интерференционные трубки с возможностью регулирования цены деления от 0,05 до 0,2 мкм.

В трубке интерферометра (рис. 2.28) свет от лампы 1 направляется конденсором 2 через диафрагму 3 на разделительную полупрозрачную пластину 6.

Рис. 2.28. Схема трубки интерферометра:

1 — лампа; 2 — конденсор; 3 — диафрагма; 4 — шторка; 5 — поворотное зеркало; 6 — полупрозрачная пластина; 7 — объектив; 8 — сетка; 9 — механизм перемещения окуляра; 10 — окуляр; 11 — компенсатор; 12 — зеркало; 13 — измерительный стержень; 14 — объект измерения

 

Часть лучей, пройдя через полупрозрачную пластину 6 и компенсатор 11, отразится от зеркала 12, закрепленного на верхнем конце измерительного стержня 13, и через компенсатор 11 вновь вернется к полупрозрачной пластине 6. Другая часть пучка света, отразившись от рабочей поверхности разделительной полупрозрачной пластины 6, попадает на поворотное зеркало 5 и после отражения также возвратится к полупрозрачной пластине 6. Рис. 2.29. Вертикальный контактный интерферометр:

Рис. 2.29. Вертикальный контактный интерферометр:

1 — кронштейн; 2 — кремальера; 3 — стойка; 4 — основание; 5 — винт; 6 — винт микроподачи; 7 — стол; 8 — теплозащитный экран; 9 — хомут трубки; 10 — трубка интерферометра

 

Таким образом, на рабочей поверхности полупрозрачной пластины 6 обе части пучка света интерферируют при небольшой разности хода. Объектив 7 проектирует интерференционную картину полос равной толщины в плоскость сетки 8. Интерференционные полосы и нанесенную на сетку шкалу наблюдают через окуляр 10.

Интерференционные полосы равной толщины образуются в результате поворота зеркала 5 на небольшой угол относительно поверхности зеркала 12. При освещении белым светом на фоне шкалы видна одна черная (ахроматическая) полоса и по обе стороны от нее несколько окрашенных полос убывающей интенсивности. Черная полоса служит указателем при отсчетах по шкале, имеющей по 50 делений в обе стороны от нуля, который смещается пропорционально перемещению измерительного стержня 13.

Вертикальный контактный интерферометр (рис. 2.29) имеет жесткое литое основание 4 и стойку 3. По направляющей стойки может перемещаться с помощью кремальеры 2 кронштейн 1, несущий трубку интерферометра 10. На хомуте трубки 9 закреплен теплозащитный экран 8. Стол 7 можно перемещать в вертикальном направлении винтом микроподачи 6 и стопорить в установленном положении винтом 5.

Основные метрологические характеристики интерферометров см. в табл. 2.9.

В последнее время отечественная промышленность стала выпускать бесконтактные лазерные интерферометры с цифровым отсчетом. Они позволяют измерять абсолютным методом детали больших размеров (до 60 м и более) с высокой производительностью и точностью. Цена деления таких приборов составляет от 0,1 до 0,01 мкм; погрешность измерения составляет 0,5 мкм на 1 м. Принципиальная схема одной из конструкций бесконтактного лазерного интерферометра представлена на рис. 2.30.

Рис. 2.30. Принципиальная схема бесконтактного лазерного интерферометра:

1 — источник лазерного луча; 2 — неподвижное зеркало; 3 — пластина; 4 — V-образный рефлектор; 5 — основание рефлектора; 6 — измерительный стол; 7 — основание измерительного стола; 8 — неподвижное зеркало; 9— приемник; 10 — основание; 11 — показывающий прибор; 12 — корпус

 

Таблица 2.10. Основные метрологические показатели микроскопов

Тип микроскопа	Верхние пределы измерений, мм		Диапазон измерений плоских углов,	Линейное увеличение объективов визирного микроскопа	Цена деления шкалы барабанов микрометрических головок, мм	Цена деления шкалы наклона линии центров	Максимальный диаметр проверяемого изделия, мм	Цена деления шкалы угломерной головки	Предел основной допускаемой погрешности микроскопа в диапазоне измерений, мкм
	в продольном направлении	в поперечном направлении
ИМ 100x50, А	100	50	0...360	1; 3; 5; 10; 20; 40х	0,005	15'	85	1'
ИМЦ 100x50, А	100	50	0...360	1; 3; 5; 10; 20; 40х	—	15'	85	1'	0...25 мм ± 3 мкм
ИМ 150x50, А	150	50	0...360	1; 3; 5; 10; 20; 40х	0,005	15'	85	1'	0...50 мм ± 5 мкм
ИМЦ 150x50, А	150	50	0...360	1; 1,5; 3,0; 5,0х	—	15'	85	1'	0... 100 мм ± 6 мкм
ИМ 150x50, Б	150	50	0...360	1; 1,5; 3,0; 5,0х	0,005	15'	85	1'
ИМЦЛ 160x80, Б	160	80	0...360	1; 3; 5; 10х	—		85	1'
УИМ-200	200	100	0...360	10; 15; 30; 50х	0,001		100	1'
УИМ-200Э	200	100	0...360	10; 15; 30; 50х	0,001	—	100	1'	±(6+L/70)
УИМ-500Э	500	200	0...360	10; 20; 30х	0,001	—	200	1'

 

Поступающий от источника лазерного луча 1 пучок света полупрозрачной пластиной 3 делится на два потока. Один направляется на неподвижное зеркало 2 и, отразившись от него, возвращается к пластине 3. Другой, проходящий сквозь пластину 3, попадает на неподвижное зеркало 8. Отразившись от неподвижного зеркала 8 и V-образного рефлектора 4, пучок возвращается к пластине 3, где интерферирует с первым пучком.

При помощи лазерных интерферометров проверяют двух- или трехкоординатные измерительные машины, микроскопы, прецизионные станки и другие точные механизмы.

Оптические измерительные приборы.

Эти приборы нашли применение в измерительных лабораториях для абсолютных и относительных измерений бесконтактным методом различных изделий сложного профиля (резьб, шаблонов, кулачков, фасонных режущих инструментов) и малых габаритных размеров, для точных измерений длин, углов, радиусов. Эти приборы построены на оптических схемах. К наиболее распространенным оптическим измерительным приборам относятся: микроскопы (инструментальный, универсальный, проекционный), проекторы, оптические длиномеры и угломеры, делительные головки, столы и др.

Инструментальные и универсальные микроскопы предназначены для абсолютных измерений углов и длин различных деталей в прямоугольных и полярных координатах. В соответствии с ГОСТ 8074—82 выпускают микроскопы с микрометрическими измерителями двух типов: типа А — без наклона головки и типа Б — с наклоном головки. У микроскопов ИМ 100x50, А; ИМ 150x50, Б предусмотрен отсчет по шкалам микрометрических головок 25 мм и применение концевых мер длины, тогда, как микроскопы ИМЦ 100x50, А; ИМЦ 150x50, А; ИМ 150x50, Б; ИМЦЛ 160x80, Б оснащены цифровым отсчетом.

Универсальные измерительные микроскопы отличаются от инструментальных большим диапазоном измерений и повышенной точностью. В них вместо микрометрических измерителей применены миллиметровые шкалы с отсчетными спиральными микроскопами.

Основные метрологические характеристики указанных микроскопов представлены в табл. 2.10.

Рис. 2.31. Микроскоп инструментальный модели ММИ [а], его отсчетное устройство (б), оптическая схема микроскопа [в):

1 — визирный микроскоп; 2 — стойка; 3 — винт; 4 — лампа подсветки; 5 и 12 — маховики; 6 и 8 — микрометрические винты; 7 — основание; 9 — измерительный стол; 10 — шариковые направляющие; 11— объектив; 13 — кронштейн; 14 — кольцо; 15 — тубус; I — миллиметровая шкала; II — круговая шкала

Несмотря на конструктивные различия инструментальных и универсальных микроскопов принципиальная схема измерения во всех микроскопах общая — визирование различных точек контролируемой детали, перемещаемых для этого по взаимно перпендикулярным направлениям, и измерение этих перемещений посредством отсчетных устройств. Для обеспечения лучшего визирования микроскопы снабжают сменными объективами различной степени увеличения.

В качестве примера рассмотрим конструкцию (рис. 2.31, а) и принцип измерения микроскопа инструментального модели ММИ. На массивном чугунном основании 7 в двух взаимно перпендикулярных направлениях на шариковых направляющих 10 перемещается измерительный стол 9 с помощью микрометрических винтов 6 и 8. Для отсчета перемещений на гильзе, скрепленной с метрической гайкой, имеется миллиметровая шкала I (рис. 2.31, б), а на барабане, связанном с микрометрическим винтом, — круговая шкала II с 200 делениями (на рис. 2.31, б показание микрометра равно 29,025). Объектив 11 с тубусом 15 установлен на кронштейне 13, который перемещается в вертикальном направлении по стойке 2. Стойка 2 с помощью маховика 5 может наклоняться у микроскопов типа Б в обе стороны для установки микроскопа под углом подъема измеряемой резьбы. Имеется лампа подсветки 4. Маховик 12, перемещающий кронштейн 13, служит для фокусировки микроскопа, причем установленное положение фиксируется винтом 3. Для точного фокусирования микроскопа вращают рифленое кольцо 14, при этом тубус 15 смещается по цилиндрическим направляющим кронштейна. К верхней части тубуса крепится сменная угломерная окулярная головка с визирным микроскопом 1 и отсчетным устройством.

Оптическая схема микроскопа представлена на рис. 2.31, в. Измеряемая деталь АБ рассматривается через объектив ОБ микроскопа. Изображение детали АБ получается действительным, обратным и увеличенным.

Глаз наблюдателя через окуляр ОК видит мнимое, обратное и еще раз увеличенное окуляром изображение детали А2Б2.

Проекторы предназначены для контроля или измерения деталей сложного контура. Проектор состоит из объектива, дающего увеличенное изображение контролируемого изделия, и экрана, на котором оно рассматривается или сравнивается с сетками или предельными контурами. Проекторы бывают с экранами, работающими в проходящем и отраженном свете. Основные метрологические характеристики этих приборов представлены в табл. 2.11.

Оптические делительные головки (рис. 2.32, а, б) служат для измерения углов, а также для разметки и нанесения делений на деталях при обработке. Прибор состоит из корпуса 8, внутри которого в подшипниках помещен шпиндель 9, отсчетного микроскопа 11 с нониусами, переднего центра 6 для установки детали, задней бабки 12 и станины 13. Поворот шпинделя отсчитывается предварительно по шкале 14, а. точно — по стеклянной шкале с помощью отсчетного микроскопа, которая жестко закреплена на шпинделе (рис. 2.32, в). Ось шпинделя может быть установлена в любое положение в пределах между горизонталью и вертикалью. Отсчет углов в этом случае ведут по шкале 14. Основные метрологические характеристики оптических делительных головок типа ОДГЭ см. в табл. 2.11.

 

Таблица 2.11. Основные метрологические характеристики оптических приборов

Наименование и тип прибора	Цена деления основной шкалы (нониуса)	Цена деления отсчетного устройства	Увеличение отсчетного микроскопа	Поле зрения	Пределы показаний шкалы	Пределы измерений прибором	Предельные погреш­ности прибора (отсчет­ного устройства)
Проекторы измерительные (ГОСТ 19795—82):	Линейной:	Дискретного цифрового отсчета:		—	—	В продольном	±0,005 мм
						0 ... 100 мм, в
						поперечном
ПИ-ЦВ	0,001;	0,0005;	10; 20;			0...50 мм, в
	0,002;		50;			вертикальном
ПИ-ЦГ	0,005;	0,001 мм	100; 200х			0... 100 мм
	0,01 мм;
ПИ-В	угловой:
ПИ-Г	2'; 3'; 5'
Оптические делительные головки (ТУ 3.3.199 — 80):		Основного лимба	—	—	—
ОДГЭ-1	1"	1°				0...3600	±(1 + sina/2) ±
ОДГЭ-2	2"						± (2 + 2pisina/2)
ОДГЭ-5	5"						±(5 / 5pisina/2)
ОДГЭ-20	20"						±20"
Оптический угломер	1°	Минутной шкалы 5'	40х	—	—	0...1800
Автоколлиматоры визуальные (ТУ 3.3.1495 — 84):	Минутной:	Секундной шкалы:			Предел разрешающей способности
АК-0,2У	0,25'	0,2"	(60±6)х	(1±0,1)°	2,8"	10'	1.5"
АК-0,5У	0,5'	0,5"	(30±3)х	(2 ± 0,2)°	4"	20'	3,0"
АК-1У	1"	—	(15 ± 2)х	(4 ± 0,4)°	6"	40'	8,0"
АК-60	1'	1"	(8±1)х	(8 + 0,8)°	10"	120'	90,0"

 

Оптические круглые столы предназначены для точных угловых измерений или поворотов на требуемые углы деталей, которые из-за Своей массы, формы и размеров не могут быть установлены в центрах или на оправках оптической делительной головки. Оптические круглые столы могут применяться также для точной разметки деталей по окружности или как точное приспособление для обработки деталей в полярной системе координат.

Для измерения наружных и внутренних углов применяют различные оптические угломеры. Величина отсчета по шкале равна 10', а допустимая погрешность ±5'.

Наиболее точными угломерными приборами являются приборы, основанные на применении автоколлимационных зрительных труб. Одним из представителей таких приборов является автоколлиматор.

Он предназначен для измерения углов, измерения прямолинейности и плоскостности направляющих, а также для определения взаимного углового расположения осей и плоскостей изделий в пространстве. Кроме визуальных автоколлиматоров бывают автоколлиматоры с фотоэлектрической регистрацией результатов, например автоколлиматор АФ-2, предназначенный для измерения угловых перемещений с точностью 1",

Автоколлиматоры с фотоэлектрической регистрацией по сравнению с визуальными обеспечивают более высокую точность и скорость измерений. Основные характеристики некоторых автоколлиматоров см. в табл. 2.11.

Рис. 2.32. Оптическая делительная головка (а), ее схема (б) и стеклянная шкала (в]:

1 — тубус; 2 — лампа подсветки; 3, 4 и 74 — шкалы; 5 — поводок; В — передний центр; 7 — червячное колесо; 8— корпус; 9 — шпиндель; 10 — полусфера; 11 — микроскоп; 12 — задняя бабка; 13 — станина

В последнее время в условиях возрастающей сложности контролируемых изделий находят все более широкое применение измерительные двухкоординатные системы. Они позволяют без переустановки изделия проводить более сложные измерения его угловых и линейных размеров в прямоугольной системе координат. К этим приборам относятся измерительные микроскопы, измерительные проекторы и измерительные двухкоординатные машины.

Измерительные двухкоординатные машины (ИДМ) появились как результат естественного развития измерительных микроскопов и проекторов. Мерами в них служат штриховые или концевые меры длины, а также прецизионные измерительные винты. Эти машины характеризуются использованием высокоточных оснований, опор, направляющих и приводов для перемещения стола с изделием или измерительной головки. Результаты измерений в современных ИДМ выводятся на ЭВМ, чем достигается значительное повышение производительности измерений.

Основные метрологические характеристики оптико-механических двухкоординатных машин, их преимущества, недостатки и область применения представлены в табл. 2.12.

Таблица 2.12. Основные метрологические характеристики оптико-механических измерительных двухкоординатных машин

Тип прибора	Пределы измерений, мм	Погршность измерения	Инерционность, с	Преимущества	Недостатки	Область применения
Измеритель ный микроскоп	х = 0...70 у = 0...50	1 мкм; 10 мкм; 6'	10	Легко переоснащаемый визуальный измерительный микроскоп для работы в проходящем и отраженном свете	Небольшое поле зрения (от 2... до 6 мм) в зависимости от увеличения	Лаборатории и производство, линейные и угловые измерения наружных и внутренних размеров
Инструментальный проекционный микроскоп	х= 0...150 у = 0...75	5 мкм; 3'	10	Можно вести наблюдения либо через окуляр, либо по экрану проектора как в отраженном, так и в проходящем свете	Дороже измерительного микроскопа	Измерительные лаборатории, измерение калибров, резьб, зубчатых колес, шаблонов, изделий сложной формы
Универсальный измерительный микроскоп	х = 0...200 у = 0...100	0,2 мкм; 1 мкм; 30"	10	Высокая точность, удобство контроля резьбовых калибров-пробок, легкая переоснащаемость	Большие масса и габаритные размеры, настольный прибор	Измерительные лаборатории, линейноугловые измерения наружных и внутренних размеров

 

Оптические приборы для измерения параметров шероховатости поверхности (ГОСТ 9847 — 79) основаны на принципе одновременного преобразования профиля поверхности и предназначены для измерения параметров Rmax; Rz; S по ГОСТ 2789—73. Стандартом устанавливаются следующие типы приборов: ПТС — приборы теневого сечения; ПСС — приборы светового сечения; МОМ — микроскопы однообъективные муаровые; МИИ — микроскопы интерференционные, действие которых основано на двухлучевой интерференции света; МПИ — микроскопы-профилометры интерференционные, действие которых основано на интерференции света с образованием полос равного хроматического порядка.

Рис. 2.33. Измерение шероховатости поверхности:
а — оптическим методом светового сечения; б — с помощью двухлучевого интерферометра; в — рефлектометрическим методом; 1 — фотоприемник (окуляр); 2 — линза; 3 — объект измерения; 4 — объектив; 5 — осветитель

Диапазоны измерений параметров шероховатости для указанных типов приборов следующие: ПТС — Rz\ S — 0,2... 1,6 мм; Rmax—40...320 мкм; МИИ — Rz; Rmax — 0,05…0,8 мкм; S — 0,002…0,05 мм; ПСС — Rz\ Rmax — 0,5 ...40 мкм; S — 0,002 ...0,5 мм; МПИ — Rz\ Rmax — 0,05…0,8 мкм; MOM — Rz\ Rmax — 0,8...40 мкм; S— 0,0005... 0,5 мм.

Оптический метод светового сечения (рис. 2.33, а) позволяет наблюдать в окуляр 1 сильно увеличенный профиль неровностей и, измеряя их с помощью шкал окулярного микрометра, определять Ra и Rz.

С помощью двухлучевого интерферометра (рис. 2.33, б) измеряют разность длин путей двух пучков света, отраженных от разных участков исследуемой поверхности.

Оптический прибор, построенный по схеме, изображенной на рис. 2.33, в, реализует рефлектометрический метод измерения и автоматизирует процесс измерения, обеспечивая получение интегрального значения высоты неровностей.