Манометры с емкостными преобразователями

Высокими метрологическими характеристиками обладают интеллектуальные манометры с емкостными преобразователями, выпускаемыми фирмами Fischer-Rosemount, Philips и др. Схема микро-процессорного преобразователя давления модели 1151 (фирма Fischer-Rosemount) представлена на рис. 1. Измеряемое давление или разность давлений воздействуют на разделительные мембраны 1, между которыми в полости, заполненной нейтральной жидкостью, находится чувствительная мембрана 2, являющаяся подвижной обкладкой дифференциальных конденсаторов, неподвижными обкладками которых служат стенки камер 3, 4.

Рис. 1. Манометр с емкостным преобразователем:

 1—разделительные мембраны; 2 — чувствительная мембрана; 4 _ неподвижные обкладки конденсаторов

Эти преобразователи имеют на выходе токовый сигнал 4...20 мА, экономичный сигнал по напряжению 0,8...3,2 и 1...5 В, HART-протокол. У дифманометров преобразование может быть линейным и квадратичным, прибор может иметь цифровой индикатор.

Преобразователи измеряют абсолютное давление от 6,22 до 6895 кПа, избыточное давление от 0,49 до 4136 кПа, разность давлений от 0,49 до 6895 кПа, гидростатическое давление от 6,2 до 689,5 кПа. Предел основной допускаемой приведенной погрешности составляет ± 0,1; ± 0,2; ± 0,25 %.

Последние разработки в области измерения давления — это интеллектуальные преобразователи EJA фирма Yokogawa. В качестве чувствительного элемента в них используется кремниевый резонатор, представляющий кристалл, частота собственных колебаний которого зависит от его растяжения или сжатия. Модели этих преобразователей охватывают весь ряд избыточных и вакуумметрических давлений от -0,1 до 50 МПа, абсолютных давлений от 0 до 3 МПа, разностей давлений от 0,5 кПа до 14 МПа. Прибор может иметь цифровую индикацию, выходной сигнал 4...20 мА и HART- протокол. Предел основной допускаемой приведенной погрешности составляет ±0,075 % при стабильности в течение 24 мес. ±0,1 %.

Для измерения высоких давлений в диапазоне 250... 1600 МПа применяются манометры сопротивления манганиновые, в которых чувствительным элементом является катушка из манганиновой проволоки. Сопротивление катушки меняется под воздействием измеряемого давления, коэффициент изменения сопротивления составляет 2,4-10-11 1/Па. Предельная погрешность манометров не превышает 1 %.